Für das flussmittelfrei Löten mit reduzierenden Gasen wie Ameisensäure oder Wasserstoff, sollte der Restsauerstoffgehalt bei <5ppm liegen. Rechnerisch kann durch zweimaliges Evakuieren auf 1 mbar und anschließendem Fluten mit Stickstoff auf Atmosphärendruck eine O₂-Konzentration von 0,2 ppm erreicht werden.

Jedoch haften Sauerstoffmoleküle an der Vakuumkammerwand und an den Produkten in der Kammer. Dabei ist der Einsatz von vakuumgeeigneten Materialien enorm wichtig. Poröse Oberflächen wie beispielsweise Eloxal-Beschichtungen sollten vermieden werden, ebenso wie Metalle mit einem hohen Sättigungsdampfdruck. Dazu gehören Zink (verzinkte Schrauben) oder Magnesium sowie deren Legierungen. Auch bei Schmierstoffen muss auf die Vakuumtauglichkeit geachtet werden. Wichtig ist dabei ein niedriger Sättigungsdampfdruck und eine hohe Viskosität der Fette. Bei starkem Ausgasen der Materialien werden die benötigen Enddrücke von 1 mbar nicht erreicht und somit kann die Inertisierung der Vakuumkammer nicht vollständig erfolgen. Auch ist mit Quereinflüssen auf die Ameisensäure oder den Wasserstoff zu rechnen.