Mit Hilfe von Vakuumkammern und hochreinem Stickstoff wird eine sauerstofffreie Atmosphäre erzeugt. Hierbei wird im ersten Schritt Vakuum auf 1mbar Absolutdruck gezogen und anschließend die Kammer wieder mit N₂ gefüllt. Dabei wird der O₂-Anteil um Faktor 1000 verdünnt. Es ergeben sich bei 20% Luftsauerstoff somit 200 ppm an Sauerstoffanteil. Wird der Vorgang wiederholt, liegt der O₂-Gehalt in der Kammer bei <1ppm. Die sauerstofffreie Atmosphäre wird beim Löten oftmals benötigt, um eine gute Benetzung der Lotwerkstoffe auf den Fügepartnern zu erreichen. Beim flussmittelfreien Löten mit Wasserstoff oder Ameisensäure kommt es bei O₂-Kontamination zur Entnetzung des flüssigen Lotes und somit zu Fehlstellen in der Fügeverbindung.