Bezeichnet mögliche Feuchterückstände auf oder in Bauelementen, z.B. nach der Prüfung mittels Ultraschallmikroskopie. Es können jedoch auch Feuchterückstände in Maschinen – z.B. Lötöfen – gemeint sein.

Für alle thermischen Fügeprozesse – egal ob Löten, Sintern, Schweißen, usw. – ist eine erhöhte Restfeuchte in jedem Fall zu vermeiden. Durch das schlagartige Verdampfen kann es zu Fehlstellen in der Fügestelle kommen. Kondensate im Ofen können zudem mit der Lot- oder Sinterpaste reagieren bzw. die Wirkung von Reduktionsmitteln wie Ameisensäure oder Wasserstoff herabsetzen. Für Bauelemente wird eine Restfeuchte <0,5 % und für die Anlagentechnik eine Restfeuchte <3% angestrebt.