Thermokompressionsbonden

Bezeichnet das Fügen von Halbleitern – vornehmlich durch Goldlote – mittels Temperatur und Druck unterhalb des Schmelzpunktes. Somit handelt es sich um einen Diffusionsprozess ähnlich wie beim Silbersintern. Das Verfahren wird in der Mikroelektronik für die Flip-Chip-Montage oder dem direkten Verbinden von Waferscheiben verwendet.

Synonyme:
Waferbonden
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