Plasma-Aktivierung

Bezeichnet die Verbesserung der Benetzung von Flüssigkeiten auf einer Oberfläche durch eine vorgelagerte Plasmareinigung. Diese Reinigung wird verwendet, um Oxide auf Metalloberflächen zu reduzieren und Verunreinigungen zu entfernen. Als Beispiel kann Argon-Wasserstoff genannt werden. Die Argon-Moleküle werden durch eine Mikrowelle in einen höheren Energie-Zustand versetzt und auf durch einen kontrollierten Gasstrom in Kontakt mit der zureinigen Oberfläche gebracht. Dabei trägtArgon die ersten Atomlagen der Oberfläche ab. Der angeregte Wasserstoff reduziert hingegen die nun freigelegten Oxide und es bleibt die blanke Metalloberfläche zurück.

Synonyme:
Plasma-Reinigung
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