Verwendet eine vorgeheizte Flüssigkeit, welche im Fertigungsofen als Dampf vorliegt. Die Erwärmung der Bauteile erfolgt durch Kondensation des heißen Dampfes auf den kalten Oberflächen der Produkte. Damit können die Bauelemente schnell und gleichmäßig erwärmt werden. In Verbindung mit einer Vakuumkammer sind niedrige Lunkerraten möglich. Die Kühlung erfolgt meist mittels Konvektion oder Konduktion.